Sille, Subaşı Mahallesi, Özkoyuncu Sokağı’nda eğimli bir arazi üzerinde inşa edilmiştir. Yazlık ve harim kısmından oluşan ahşap direkli, kırma çatılı bir camidir. H 1285/1868-69 yılında Bektaşoğlu Mehmet Ağa tarafından yaptırılmıştır.
Yapının kuzeybatıdan güneydoğuya eğimli arazide yer alması sebebiyle güneyde kısmi bodrum yapılarak caminin düz bir platforma oturması sağlanmıştır. Cami doğu-batı doğrultusunda enine gelişen bir plan düzenine sahiptir. Çeşme ve bazı binalarla bitiştirilerek batı cephesi kapatılmıştır. Kuzeydeki yoldan küçük avluya girilir. Caminin doğusunda yazlık mescit bölümü bulunmaktadır. Bu bölüm giriş zemininden 0,55 m yükseltilmiştir. Yazlık mescit biri kıble duvarına bitişik üçü serbest dört ahşap sütunla doğuya açılmaktadır. Ahşap sütunlar arasında Bursa tipi kemerler bulunmaktadır. Kıble duvarında ortada eğri kesim tekniğinde işlenmiş ahşap mihrap ve iki yanında dikdörtgen iki pencere bulunmaktadır. Bu bölüm cami harimiyle altta üç büyük dikdörtgen pencere ile üstte iki küçük tepe penceresi ve yuvarlak kemerli ahşap kapıyla irtibatlandırılmıştır. Giriş kapısı üzerinde dıştaki cemaatin imama uyması ve uyarılması için küçük bir müezzinlik yapılmış ve içteki mahfil katma bir kapı ile bağlanmıştır.
Doğudaki kapıdan girilen cami harimi, ikisi serbest ikisi duvarla birleşik dört ahşap sütunun taşıdığı üç destek sırasıyla mihrap duvarına dik, dört sahınlı bir plan düzenine sahiptir. Giriş kapısı önünde bir seki ve pabuçluk bulunmaktadır.
Ahşap kirişleme tavanlı harim güney ve doğudaki pencerelerle aydınlanır. Mihrap, minber, doğu duvardaki kürsü ahşap olup, eğri kesim, ajur tekniğinde süslenmişlerdir.
Yarım daire planlı mihrap, üçgen bir alınlığa sahiptir. Mihrabın yan kısımları silmeler ile sınırlandırılmış, iki geniş bordür yer almaktadır. İçteki bordür üzerinde zencirek motifleri, dıştaki bordür üzerinde ise kıvrım dallara bağlı palmet ve rozetler yer alır. Tepelikte kıvrımdalar arasında palmetler ve papatyalar bulunur. Benzer bir süsleme aynalık ve korkuluk kısımlarında da görülmektedir. Vaaz kürsüsünün dış yüzlerinde de geometrik ve bitkisel bezemeler yer almaktadır. Yapının bazı kısımlarda, mihrap üzerinde kalem işi süslemeler görülür. Kürsünün arkalığında “Sâhibü’l-hayrât Bektâş oğlu Mehmed Ağa sene 1285” ibareli kitabesi yer alır.